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含硅废水怎么处理方法|含硅废水处理案例

伤害某光电器件集成块创造厂,晶圆加工解决全过程中诞生含硅、氟的非常规生产废水整理工艺,设汁解决投资额1200吨/日。生产废水整理工艺部分有难度,含带纳米技术级硅颗粒肥料及氢佛酸,传统艺术解决最简单的方法不易于未达标。 废液营养成分及源于 通常环保问题物 :氢氧化铁硅(100-500nm粒度)、氟阴阳离子(200-300mg/L)、异丙醇 因素步骤 :晶圆刻蚀焦化废污水(45%)、CMP检查是否生产设备打磨抛光焦化废污水(40%)、生产设备清洗道路水(15%) 处理方法工艺 创新发展采用了"生物沉定+持种膜分離"技能自驾路线: 钙盐石雕文化沉淀 :污泥脱水氯化钙我们要除氟阴离子(转化成CaF2结晶) 斜板沉淀池表现 :混合水解酸化池剂满足溶液硅脱稳 管式微滤 :0.1μm粒径膜挪作他用微细颗料 反渗入系统软件 :脱盐率>98%,收集率75% 蒸发掉心得 :浓水段推动氟化物零排卸 最终能够感觉 氟化物渗透压:<8mg/L(降至政府3级的标准10mg/L) 硅含磷量:<5mg/L 水成本回收利用率:70%用到冷凝塔保湿 危险废弃物减轻药量:挥发残留量较过去的施工工艺缩减60%

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