伤害某光电器件集成块创造厂,晶圆加工解决全过程中诞生含硅、氟的非常规生产废水整理工艺,设汁解决投资额1200吨/日。生产废水整理工艺部分有难度,含带纳米技术级硅颗粒肥料及氢佛酸,传统艺术解决最简单的方法不易于未达标。
废液营养成分及源于
通常环保问题物
:氢氧化铁硅(100-500nm粒度)、氟阴阳离子(200-300mg/L)、异丙醇
因素步骤
:晶圆刻蚀焦化废污水(45%)、CMP检查是否生产设备打磨抛光焦化废污水(40%)、生产设备清洗道路水(15%)
处理方法工艺
创新发展采用了"生物沉定+持种膜分離"技能自驾路线:
钙盐石雕文化沉淀
:污泥脱水氯化钙我们要除氟阴离子(转化成CaF2结晶)
斜板沉淀池表现
:混合水解酸化池剂满足溶液硅脱稳
管式微滤
:0.1μm粒径膜挪作他用微细颗料
反渗入系统软件
:脱盐率>98%,收集率75%
蒸发掉心得
:浓水段推动氟化物零排卸
最终能够感觉
氟化物渗透压:<8mg/L(降至政府3级的标准10mg/L)
硅含磷量:<5mg/L
水成本回收利用率:70%用到冷凝塔保湿
危险废弃物减轻药量:挥发残留量较过去的施工工艺缩减60%