某半导体材料打造品牌因晶圆刷洗加工过程行成含氨生活污水,储水量200吨/天。生活污硫酸铜溶液除氧化还原电位外还含氟化物和进样器巨资属,净化处理难易大。是时间污染物标准的要求氧化还原电位<5mg/L,氟化物<3mg/L。
生活污水基本成分及收入
晶圆擦洗废水处理工艺(通常源于):含氯离子200-300mg/L,氟化物50-80mg/L
刻蚀生产工序废渣:含微量分析铜、镍等巨资属,pH值振幅大
CMP精磨废渣:含硅粒子及氧化还原电位
正确处理新工艺标准流程
选择"生物沉定+膜分离出来+折点氯化"组合起来工艺流程:
预清理
:加药系统CaCl2除氟,的控制pH在7.5-8.
超滤膜体统
:删去0.01μm之内粉末物
反加入浓缩提炼
:将氟化物沉淀至1000mg/L超过
折点氯化
:精确性把控好氯添加量,将氧化还原电位应用为氦气
阴阳离子交流
:安全保障血本属及格
以后功能
氟化物稳定性<3mg/L,氟化物<1mg/L
血本属含磷量不高于检侧限
水造纸废水处理率达75%
工业废水所产生量削减40%