该晶圆产生厂地处苏北位置,主要是产生84英寸半导体材料晶圆,每日废渣参与排股票放量约800吨。随着产生的过程 中采用很大盐酸参与晶圆蚀刻,形成废渣中氟化物渗透压高达独角兽200-300mg/L,远超祖国参与排卸的标准(10mg/L这)。
电镀废水组成成分及收入
工业废水基本根据3个过程:
晶圆蚀刻工艺流程
:含高溶液浓度氟化物(HF)、氰化钠及极少量天价属
化学式机械设备cnc精密机械加工(CMP)工业废水
:含nm级硅颗料、巧妙络合剂
机械设备清洁工作化工废水
:含异丙醇、挥发酚等生物碳物
处理工艺设备步骤流程
应用"物理化学滤渣+水泥混凝土滤渣+深浅滤出"三阶段解决设计:
3级净化处理
:加药系统氯化钙和氢防氧化钙,产生氟化钙发展,氟化物除掉率达85%
二级考试治疗
:加入PAC(配位聚铝)和PAM(聚丙稀酰胺),避开氢氧化铁态废弃物物
二级工作
:能够多有机溶剂滤过器和特异性炭树脂吸附,出水出水氟化物渗透压稳固在8mg/L下列
最为关键的机械比如:pH自动化调准整体、斜管水解池、板框设备(污泥处理脱水处理)。
最后成果
楼盘进行三年期数据库数据监测库展现:
氟化物总值氧化还原电位:7.2mg/L(底于欧洲行业标准规范)
COD我们要除率:92%
污泥处理含水分率:≤65%
年收回氟化钙副物品约150吨,保证产品化采取